ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات
- وصف
- سؤال
99.8% ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات
The main features of the semiconductor ceramic wafer loader arm
1. أبعاد عالية الدقة مع إحكام التسامح, it’s easier to get a perfect fitting relation
2. القدرة على ارتفاع درجة الحرارة: تتحمل ما يصل إلى 1650 درجة مئوية في أجواء مؤكسدة ومقلصة
3. يرتدي & مقاومة التآكل: الألومينا عبارة عن سيراميك تقني شديد الصلابة مع مقاومة فائقة للتآكل
4. الخمول الكيميائي, مقاومة معظم الأحماض القوية والقلوية, ولا تصدأ إلى الأبد
5. عزل كهربي: انهيار العزل يصل إلى 18KV على الأقل
6. خصائص ميكانيكية رائعة, صلابة, قوة الانضغاط والانحناء من الفولاذ المقاوم للصدأ أعلى بكثير
7. مقاومة التآكل الكيميائي تحت درجات الحرارة العالية, حتى لو مع حمض قوي أو قلوي
8. أجواء واقية أو تفريغ عالي عند درجة حرارة عالية لإزالة التلوث أو الشوائب.
9. تكلفة مواد منخفضة في التطبيقات عالية المستوى مقارنة بالسيراميك التقني الآخر
مواصفات قطع السيراميك
| خيار المواد | الألومينا(Al2O3), زركونيا (ZrO2), كربيد السيليكون(SiO2), نيتريد السيليكون(Si3N4) |
| طرق التشكيل | ضغط ISO, ضغط جاف, صب حقن السيراميك, ضغط ساخن |
| هذه المشعلات لديها منطقة تشغيل كبيرة تصل إلى | يمكن أن يكون OD من 1 إلى 50 ملم, يمكن أن يكون الطول من 10 مم إلى 800 مم |
| معالجة دقيقة | التصنيع باستخدام الحاسب الآلي, طحن دقيق, تلميع, اللف, |
| تسامح | يمكن أن يكون التسامح مع OD و ID 0.001 مم, يمكن أن يكون تحمل الطول 0.001 مم |
| المعلمات الرئيسية | خشونة أن تكون 0.02 مم, التسطيح ليكون 0.001 مم, أن يكون التوازي 0.001 مم |
| جودة السطح | خالية من الشقوق, التلوث الأجنبي, سطح المرآة أفضل من Ra0.1 |
ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات
The description of high precision alumina ceramic wafer loader arm
For semiconductor devices, the critical process, as well as the parts which need to be used in a vacuum, درجة حرارة عالية, and corrosive gas environment, also require a clean and dustless environment. However, precision ceramic material could maintain high stability in a complicated physical and chemical environment. Semiconductor ceramic part we produced with wear resistance, المقاومة للتآكل, تمدد حراري منخفض, insulation is made from 99.8% alumina ceramic and formed by cold isostatic pressing, high-temperature sintering, and precision machining, that’s why can meet the stringent requirements of parts for semiconductor equipment.
ذراع تحميل الويفر الخزفي المصنوع من الألومينا وأشباه الموصلات
ملاحظة:
We have the capability with a variety of complicated geometry of high precision ceramic parts via CNC machining, طحن دقيق, precision drilling, وهلم جرا.
ورقة بيانات الخزف الفني
| ملكية | الوحدات | مادة | ||||
| 99.5% الألومينا | 99% الألومينا | 95% الألومينا | ZrO2 (ص- TZP) | ZrO2 (TTZ) | ||
| كثافة | ز / سم3 | ≥3.85 | ≥3.80 | ≥3.60 | ≥5.95 | ≥5.72 |
| أمتصاص الماء | % | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| صلابة | HV | 1700 | 1700 | 1500 | 1300 | 900 |
| قوة العاطفة | الآلام والكروب الذهنية | ≥379 | ≥338 | ≥320 | ≥ 1200 | ≥ 1200 |
| قوة الضغط | الآلام والكروب الذهنية | ≥2240 | ≥2240 | ≥ 2000 | ≥1990 | 1750 |
| كسر صلابة | مبا م1/2 | 4-5 | 4-5 | 3-4 | 6.5-8 | 11 |
| الأعلى. الخدمات درجة الحرارة | ج | 1675 | 1600 | 1450 | 1000 | |
| كوت | 1× 10 -6 /ج | 6.5~ 8.0 | 6.2~ 8.0 | 5.0~ 8.0 | 8.0~ 9.5 | 10.2 |
| صدمة حرارية | تي(ج) | ≥ 250 | ≥200 | ≥220 | ≥300 | 350 |
| توصيل حراري(25ج) | ث / عضو الكنيست | 30 | 29 | 24 | 3 | 3 |
| حجم المقاومة | أوم.سم | |||||
| 25ج | >1 x 10 14 | >1 x 10 14 | >1 x 10 14 | >1 x 10 11 | >1 x 10 11 | |
| 300ج | 1 x 10 12 | 8 x 10 11 | 10 12 -10 13 | 1 x 10 10 | 1 x 10 10 | |
| 500ج | 5 x 10 10 | 2 x 10 9 | 1 x 10 9 | 1 x 10 6 | 1 x 10 6 | |
| قوة العزل | KV / مم | 19 | 18 | 18 | 17 | 20 |
| ثابت العزل الكهربائي(1ميجاهيرتز) | (ه) | 9.7 | 9.5 | 9.5 | 29 | 28 |
منتجات ذات صله
قضيب سيراميك من الألومينا المقاوم
قضيب سيراميك من الألومينا المقاوم 3 مم – 25مم
ولاعة سيراميك لموقد الخشب بيليه
مشعل سيراميك لموقد بيليه الخشب / لحام / سخان مياه
أنبوب سيراميك الألومينا عالي النقاء المقاوم للحرارة
أنبوب سيراميك ألومينا دقيق
Al2o3 السيراميك المكبس رمح المكبس
Al2o3 السيراميك المكبس رمح المكبس
مكونات سيراميك الألومينا
مكونات سيراميك الألومينا
عاكس ليزر سيراميك الألومينا
عاكس ليزر سيراميك الألومينا
عوازل سيراميك كهربائية
عوازل سيراميك للسخانات عوازل سيراميك كهربائية
كرة الصمام السيراميك ومكونات المقعد
مكونات الصمام الخزفي بما في ذلك كرة الصمام(منفذ O و V-port),مقاعد وأجزاء أخرى للصمام الكروي الخزفي المبطن بالكامل.
أجزاء قرص صمام سيراميك الألومينا
قرص سيراميك ألونيما لخرطوشة وصمام الحنفية .
أنابيب جلبة جلبة سيراميك الألومينا
مع مقاومة التآكل hign ومقاومة التآكل الملائمة,يستخدم أنبوب السيراميك على نطاق واسع في بيئة عالية التآكل وعالية الحرارة مثل محطات الطاقة الحرارية,التعدين,علم المعادن,مصانع الاسمنت,إلخ.
