عناصر التدفئة الإلكترونية المركبة PBN PG
- وصف
- سؤال
PBN/PG Composite Heating electronic Elements
وصف المنتجات
عناصر التدفئة الإلكترونية المركبة PBN PG:
Pyrolytic Boron Nitride is used as the substrate for the PBN heating element. الجرافيت الانحلال الحراري(ص) يتم وضعه على سطح ألواح PBN بواسطة طريقة CVD كموصل وسخان. اعتمادا على متطلبات التطبيقات المختلفة, يمكن تغطية عنصر التسخين PG بواسطة PBN مرة أخرى أو البقاء مفتوحًا.
قطر الدائرة | 0.5”~4” |
الوقود الصلب مثل الكريات الخشبية كمصدر للطاقة | 150~3000W |
الأعلى. Working Temp. | 2400 أماه في ظل ظروف العمل العادية |
عناصر التدفئة الإلكترونية المركبة PBN PG
نظرًا لأن كلاً من PG وPBN نقيان للغاية (99.99% أو حتى أعلى) and very stable in a vacuum or inert atmosphere, the PBN/PG Composite Heating Elements could be very durable and keep the chamber clean. It could be heated to 1600℃ in a very short time without the emission of any gas component. It also has good resistance to acid and alkali. These heating elements are ideal products for the semiconductor industry and applications that require high temperature, فراغ عالية, ونقاء عالي.
خصائص المواد
بند | وحدة | ||
Apparent Density | ز / سم 3 | 2.15-2.19 | |
Gas permeability(He) | cm3/s | <1*10-10 | |
Micro hardness(زر) | ن/مم2 | 691.88(a-b plane) | |
قوة الشد | ن/مم2 | 153.86(parallel) | |
Bending strength | ن/مم2 | 243.63(parallel) | 197.76(parallel) |
Modulus of elasticity | ن/مم2 | 235690 | |
Specific heat capacity | Cal/g.℃ | 0.371(@ 200℃) | 0.442(@ 900℃) |
Thermal conductivity 200℃ | W/cm.k | 0.6(parallel) | 0.026(perpendicular) |
Thermal conductivity 900℃ | W/cm.k | 0.4370(parallel) | 0.028(perpendicular) |
قوة عازلة(RT) | KV / مم | 56 | |
حجم المقاومة | Cm | 3.11*1011 |
أماه في ظل ظروف العمل العادية
√High purity(>99.999%)PBN |
√Uniform heating, the difference in temperature between ±3 degree at 1000 درجة |
√The temperature can rise up to 1700℃ with high speed(in non-active condition and vacuum) |
√The temperature can rise up to 1700℃ with high speed(in non-active condition and vacuum) |
√Can be made to complicated shape |
لويزيانا بيليه جريل الشاعل
سخانات ام بي اي; موكفد、 سخانات PECVD.