نيتريد السيليكون الركيزة الخزفية Si3n4

مواصفات الرقائق الخزفية والركيزة
1. يغطي السماكة النموذجية لركيزة نيتريد السيليكون 0.30 مم, 0.5مم, 0.635مم, 1.0مم
2. نقوم بتوريد العديد من رقائق السيراميك المستديرة, ميدان & ركيزة سيراميك مستطيلة
3. أكبر قطر لرقائق الويفر الخزفية المستديرة يمكن أن يصل إلى 400 مم في 3 مم, 4مم, 5سمك مم
4. الحد الأقصى. يمكن أن يكون الطول الجانبي للركيزة الخزفية المربعة والمستطيلة 400 مم × 500 مم
5. المعالجة السطحية: يمكن أن يكون من جانب واحد, أو جانب مزدوج مصقول ليكون Ra0.4 أو أفضل

الملامح الرئيسية لرقائق سيراميك Si3N4 والركيزة
1. الموصلية الحرارية العالية ( يصل إلى 70 ث / عضو الكنيست), 3 مرات من الركيزة الخزفية الألومينا;
2. معامل التمدد الحراري (3.1× 10-6 / درجة مئوية) يطابق مادة السيليكون أشباه الموصلات (3.5-4.0× 10-6 / درجة مئوية);
3. قوة الانحناء أعلى من تلك الموجودة في ركيزة الألومينا, وهو ضعف مثيله في ركيزة الألومينا;
4. أداء كهربائي ممتاز, مع مقاومة عزل عالية للغاية وفقدان منخفض للعزل الكهربائي;
5. توافق مواد الدوائر جيد, ويمكن إجراء الأسلاك متعددة الطبقات لتحقيق تصغير الحزمة;
6. مقاومة عالية للصدمات الحرارية, من 0 ºC إلى 200 ºC ثم يبرد, كرر 10000 مرات;
7. مقاومة كيميائية, أكسدة مقاومة, إشعال سيراميك نيتريد السيليكون بدرجة حرارة عالية, التآكل القلوي, عمر الخدمة يصل إلى 10 سنوات.

الركيزة السيراميك نيتريد السيليكون Si3n4

وصف Si3N4 رقائق السيراميك والركيزة
نيتريد السيليكون (Si3N4) هو مركب من صنع الإنسان يتم تصنيعه من خلال عدة طرق تفاعل كيميائي مختلفة. يتم ضغط الأجزاء وتلبيدها بطرق متطورة لإنتاج السيراميك بمجموعة فريدة من الخصائص المتميزة. المواد ذات لون رمادي غامق إلى أسود ويمكن صقلها إلى سطح عاكس أملس للغاية, إعطاء أجزاء بمظهر لافت للنظر.
يتجاوز نيتريد السيليكون المواد الخزفية الأخرى في مقاومة الصدمات الحرارية. كما أنها توفر مزيجًا ممتازًا من الكثافة المنخفضة, قوة عالية, تمدد حراري منخفض, ومقاومة جيدة للتآكل وصلابة الكسر.
تم استخدام نيتريد السيليكون في عدد من التطبيقات الصناعية, مثل مكونات المحرك, رمان, وأدوات القطع.