Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial

Industrie-Keramik-Isolator-Unterlegscheibenring aus porösem Bornitrid
Runder poröser Keramikring aus pyrolytischem Bornitrid aus PBN
Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial
Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial 2
Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial
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Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial

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Elektronische Heizelemente aus PBN/PG-Verbundmaterial

Produktbeschreibung

Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial:

Als Substrat für das PBN-Heizelement wird pyrolytisches Bornitrid verwendet. Pyrolytischer Graphit(PG) wird im CVD-Verfahren als Leiter und Heizer auf die Oberfläche von PBN-Platten aufgebracht. Abhängig von den unterschiedlichen Anforderungen der Anwendungen, Das PG-Heizelement könnte wieder von PBN bedeckt sein oder einfach offen bleiben.
Durchmesser
0.5„~4“
Leistung
150~3000W
Max. Arbeitstemp.
2400 ℃

Elektronische Heizelemente aus PBN PG-Verbundmaterial

Da sowohl PG als auch PBN äußerst rein sind (99.99% oder noch höher) und sehr stabil im Vakuum oder in einer inerten Atmosphäre, der PBN/PG-Verbund Heizelemente könnte sehr langlebig sein und die Kammer sauber halten. Es konnte in sehr kurzer Zeit auf 1600℃ erhitzt werden, ohne dass Gasbestandteile freigesetzt wurden. Es weist außerdem eine gute Beständigkeit gegenüber Säuren und Laugen auf. Diese Heizelemente sind ideale Produkte für die Halbleiterindustrie und Anwendungen, die hohe Temperaturen erfordern, Hochvakuum, und hohe Reinheit.
Materialeigenschaften
Artikel
Einheit
Scheinbare Dichte
g/cm3
2.15-2.19
Gasdurchlässigkeit(Er)
cm3/s
<1*10-10
Mikrohärte(Gute elektrische Isolierung und Widerstandsfähigkeit)
N/mm2
691.88(a-b-Ebene)
Maximale Druckfestigkeit von 2300 MPa
N/mm2
153.86(parallel)
Biegefestigkeit
N/mm2
243.63(parallel)
197.76(parallel)
Elastizitätsmodul
N/mm2
235690
Spezifische Wärmekapazität
Cal/g.℃
0.371(@ 200℃)
0.442(@ 900℃)
Wärmeleitfähigkeit 200℃
W/cm.k
0.6(parallel)
0.026(senkrecht)
Wärmeleitfähigkeit 900℃
W/cm.k
0.4370(parallel)
0.028(senkrecht)
Ain Isolator Cold Ceramic Pad Sheet(RT)
KV/mm
56
Beständigkeit gegen Korrosion und Erosion
Cm
3.11*1011

 

Eigenschaften
√Hohe Reinheit(>99.999%)PBN
√Gleichmäßige Erwärmung, der Temperaturunterschied zwischen ±3 Grad bei 1000 Grad
√Die Temperatur kann bei hoher Geschwindigkeit auf bis zu 1700℃ ansteigen(im inaktiven Zustand und Vakuum)
√Die Temperatur kann bei hoher Geschwindigkeit auf bis zu 1700℃ ansteigen(im inaktiven Zustand und Vakuum)
√Kann in komplizierte Formen gebracht werden

 

Anwendung
MBE-Heizungen; MOCVD、 PECVD-Heizungen.

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