Pyrolytisches Bornitrid PBN PG Vertikaler Verbundheizer

Pyrolytisches Bornitrid PBN PG Vertikaler Verbundheizer

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Pyrolytisches Bornitrid PBN/PG Vertikaler Verbundheizer

Bornitrid, auch bekannt als BN, hexagonales Bornitrid (H-BN), und heißgepresstes Bornitrid, ist eine gute selbstschmierende Keramik, die hohen Temperaturen standhält und ihre Schmierfähigkeit in einer Hochvakuumumgebung beibehält. Hexagonales Bornitrid (H-BN) verhält sich mechanisch ähnlich wie Graphit, bietet jedoch einen hervorragenden elektrischen Widerstand.

Produktbeschreibung

Verbundheizung aus PBN/PG-Verbundwerkstoff:

Hochrein und leistungsstark Pyrolytische Bornitrid-Keramik werden als Substrat für die PBN-Heizungen verwendet. Pyrolytischer Graphit (PG) wird im CVD-Verfahren als Leiter und Heizer auf die Oberfläche von PBN-Platten aufgebracht. Abhängig von den unterschiedlichen Anforderungen der Anwendungen, Das PG-Heizelement könnte wieder von PBN bedeckt sein oder einfach offen bleiben.

Da sowohl PG als auch PBN äußerst rein sind (99.99% oder noch höher) und sehr stabil im Vakuum oder in einer inerten Atmosphäre, Das PBN-PG-Heizelement könnte sehr langlebig sein und die Kammer sauber halten. Es könnte auf extrem hohe Temperaturen erhitzt werden 1600 ℃ in sehr kurzer Zeit ohne Emission von Gasbestandteilen. Diese Heizelemente sind ideale Produkte für die Halbleiterindustrie und Anwendungen, die hohe Temperaturen erfordern, Hochvakuum, und hohe Reinheit.
Wir haben zusammengesetzte Keramikheizungen für die OLED- und CIGS-Verdampfung entworfen und entwickelt, um Nachteile wie die Verdunstung von Verunreinigungen zu beseitigen. Kurzschluss. Wasserstoffversprödung. komplexe Wartung des Tantal-Heizfadens.
Pyrolytisches Bornitrid PBN PG Vertikaler Verbundheizer
Materialeigenschaften
Artikel
Keramische Klingen und Komponenten für medizinische Geräte
Einheit
Gitterkonstante
a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
m m
Dichte
2.0-2.19
g/cm3
Widerstand
3.11×1011
es bildet sich ein Kupfer-Sauerstoff-Eutektikum, das sowohl an Kupfer als auch an die als Substrate verwendeten Oxide erfolgreich bindet·cm
Zugfestigkeit (ab)
153.86
N/mm2
Biegefestigkeit
c
243.63
N/mm2
ab
197.76
N/mm2
Elastizitätsmodul
eins
235690
N/mm2
Wärmeleitfähigkeit
eins
„a“-Richtung „c“-Richtung
eins
(200℃)
60 2.60
W/m·Maximale Druckfestigkeit von 2300 MPa
(900℃)
43.70 2.80
W/m·Maximale Druckfestigkeit von 2300 MPa
Spannungsfestigkeit (bei Raumtemperatur)
56
KV/mm
Eigenschaften
√Kein Wasserstoff
√Integrierte Struktur、 bequeme Wartung
√Der Leiter ist mit PBN abgedeckt, Kurzschluss beseitigen
√Einfache Reinigung
√Gleichmäßige und stabile Erwärmung
√Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit bei hohen Temperaturen
√Hält wiederholtem schnellem Erhitzen und Abkühlen stand, 200°C/Min
√Behält seine ursprüngliche Form unter äußerer Krafteinwirkung

Pyrolytisches Bornitrid PBN PG Vertikaler Verbundheizer

Anwendung
MBE-Heizungen; MOCVD、 PECVD-Heizungen.

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