Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

Descripción
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Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

1.Composición del producto: 99% Bola de rodamiento de cerámica de circonio

2. Tamaño: tamaño personalizado

3. Toelrance : ±0,05 mm

4. Certificación: ISO 9001, SGS, CTI

nombre del producto	Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores para el manejo de obleas
Material	cerámica de aluminio
Color	blanco
Tolerancia	±0,001 mm
Calificación	Primer grado
MOQ	1 piezas
Acabado de la superficie	Normal o Pulido
Composición	99% Bola de rodamiento de cerámica de circonio

Las principales características de la Cerámica Semiconductora Robot de brazo de cerámica de alúmina
1. Dimensiones de alta precisión con tolerancia de apriete, es más fácil obtener una relación de ajuste perfecto
2. Capacidad de alta temperatura: soportar hasta 1650 ° C en atmósferas oxidantes y reductoras
3. Vestir & resistencia a la abrasión: Varilla aislante de cerámica de alúmina mm
4. Inercia química, Varilla aislante de cerámica de alúmina mm, y no se oxida para siempre
5. Aislamiento electrico: La ruptura del aislamiento es de hasta 18 KV como mínimo.
6. Grandes propiedades mecánicas, dureza, La resistencia a la compresión y a la flexión son de acero inoxidable mucho más altas.
7. Resistencia a la corrosión química a altas temperaturas., incluso si con ácido fuerte o álcali
8. Varilla aislante de cerámica de alúmina mm.
9. Bajo costo de material en aplicaciones de alto nivel que otras cerámicas técnicas

La especificación de piezas de cerámica.

Opción de material	Alúmina(Al2O3), Circonita (ZrO2), Carburo de silicio(SiO2), Nitrido de silicona(Si3N4)
Métodos de formación	ISO presionado, Prensado en seco, Moldeo por inyección de cerámica, Prensado en caliente
Especificación	OD puede ser de 1 hasta 50 mm, la longitud puede ser de 10 mm a 800 mm
Procesamiento de precisión	Mecanizado CNC, Rectificado de precisión, Pulido, Lapeado,
Tolerancia	La tolerancia de OD e ID puede ser de 0,001 mm., la tolerancia de longitud puede ser de 0,001 mm
Parámetros clave	Rugosidad de 0,02 mm, La planitud debe ser de 0,001 mm, El paralelismo debe ser 0,001 mm
Calidad de la superficie	Libre de grietas, contaminación extranjera, superficie del espejo mejor que Ra0.1

Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

La descripción del brazo cargador de obleas de cerámica de alúmina de alta precisión
Para dispositivos semiconductores, el proceso critico, así como las piezas que necesitan ser utilizadas en un vacío, alta temperatura, y ambiente de gas corrosivo, también requieren un ambiente limpio y sin polvo. Sin embargo, El material cerámico de precisión podría mantener una alta estabilidad en un entorno físico y químico complicado.. Pieza de cerámica semiconductora que producimos con resistencia al desgaste., resistencia a la corrosión, baja expansión térmica, el aislamiento está hecho de 99.8% cerámica de alúmina y formada por prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura, y mecanizado de precisión, es por eso que puede cumplir con los estrictos requisitos de las piezas para equipos semiconductores.

Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

Observación:

Tenemos la capacidad con una variedad de geometría complicada de piezas cerámicas de alta precisión a través de mecanizado CNC, rectificado de precisión, perforación de precisión, etcétera.

Ficha técnica de cerámica técnica

Propiedad	Unidades	Material
Propiedad	Unidades	99.5% alúmina	99% alúmina	95% alúmina	ZrO2 (Y-TZP)	ZrO2 (TTZ)
Densidad	g / cm³	≥3,85	≥3,80	≥3,60	≥5,95	≥5,72
Absorción de agua	%	0	0	0	0	0
Dureza	HV	1700	1700	1500	1300	900
Fuerza flexible	Mpa	≥379	≥338	≥320	≥1200	≥1200
Fuerza compresiva	Mpa	≥2240	≥2240	≥2000	≥1990	1750
Tenacidad a la fractura	Mpa m^1/2	4-5	4-5	3-4	6.5-8	11
Max. Servicio temperatura	ºC	1675	1600	1450	1000
Redil	1× 10 ^-6/ºC	6.5~ 8.0	6.2~ 8.0	5.0~ 8.0	8.0~ 9.5	10.2
Choque termal	T(ºC)	≥250	≥200	≥220	≥300	350
Conductividad térmica(25ºC)	W / m.k	30	29	24	3	3
Resistividad de volumen	ohm.cm
25ºC		>1 X 10¹⁴	>1 X 10¹⁴	>1 X 10¹⁴	>1 X 10¹¹	>1 X 10¹¹
300ºC		1 X 10 ¹²	8 X 10¹¹	10¹² -10¹³	1 X 10 ¹⁰	1 X 10 ¹⁰
500ºC		5 X 10 ¹⁰	2 X 10⁹	1 X 10⁹	1 X 10⁶	1 X 10⁶
Fuerza de aislamiento	KV / mm	19	18	18	17	20
Constante dieléctrica(1Megahercio)	(mi)	9.7	9.5	9.5	29	28

Robot de brazo de cerámica de alúmina de cerámica de semiconductores

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