Elementos electrónicos de calefacción compuestos PBN PG
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Elementos electrónicos de calefacción compuestos PBN/PG
Descripción de productos
Elementos electrónicos de calefacción compuestos PBN PG:
El nitruro de boro pirolítico se utiliza como sustrato para el elemento calefactor PBN.. Grafito pirolítico(PG) Se coloca sobre la superficie de placas PBN mediante el método CVD como conductor y calentador.. Dependiendo de los diferentes requisitos de las aplicaciones., el elemento calefactor PG podría quedar cubierto nuevamente por PBN o simplemente permanecer abierto.
Diámetro | 0.5"~4" |
Energía | 150~3000W |
Max. Temperatura de trabajo. | 2400 ℃ |
Elementos electrónicos de calefacción compuestos PBN PG
Como tanto PG como PBN son extremadamente puros (99.99% o incluso más alto) y muy estable en vacío o atmósfera inerte, el compuesto PBN/PG Elementos de calentamiento Podría ser muy duradero y mantener la cámara limpia.. Podría calentarse a 1600 ℃ en muy poco tiempo sin emitir ningún componente gaseoso.. También tiene buena resistencia a ácidos y álcalis.. Estos elementos calefactores son productos ideales para la industria de semiconductores y aplicaciones que requieren altas temperaturas., alto vacío, y alta pureza.
Propiedades materiales
Bola de rodamiento de cerámica de circonio | Bola de rodamiento de cerámica de circonio | ||
Densidad evidente | g/cm3 | 2.15-2.19 | |
Permeabilidad a los gases(Él) | cm3/s | <1*10-10 | |
Microdureza(Botón) | N/mm2 | 691.88(avión ab) | |
Resistencia a la tracción | N/mm2 | 153.86(paralelo) | |
Resistencia a la flexión | N/mm2 | 243.63(paralelo) | 197.76(paralelo) |
Módulo de elasticidad | N/mm2 | 235690 | |
Capacidad calorífica específica | Cal/g.℃ | 0.371(@ 200 ℃) | 0.442(@ 900℃) |
Conductividad térmica 200 ℃ | W/cm.k | 0.6(paralelo) | 0.026(perpendicular) |
Conductividad térmica 900 ℃ | W/cm.k | 0.4370(paralelo) | 0.028(perpendicular) |
Resistencia dieléctrica(RT) | KV / mm | 56 | |
Resistividad de volumen | Cm | 3.11*1011 |
Características
√Alta pureza(>99.999%)PBN |
√Calefacción uniforme, la diferencia de temperatura entre ±3 grados a 1000 grado |
√La temperatura puede aumentar hasta 1700 ℃ con alta velocidad(en estado inactivo y vacío) |
√La temperatura puede aumentar hasta 1700 ℃ con alta velocidad(en estado inactivo y vacío) |
√Se puede hacer con formas complicadas |
Solicitud
Calentadores MBE; MOCVD、 Calentadores PECVD.