Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG

Tubo pulverizador cerámico de nitruro de boro bn
Calentador compuesto vertical pirolítico de nitruro de boro PBN 3
Calentador compuesto vertical pirolítico de nitruro de boro PBN 5
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Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG

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Calentador compuesto vertical pirolítico de nitruro de boro PBN/PG

Nitruro de boro, también conocido como BN, nitruro de boro hexagonal (H-BN), y nitruro de boro prensado en caliente, Es una buena cerámica autolubricante que puede soportar altas temperaturas y mantener su capacidad lubricante en un entorno de alto vacío.. Nitruro de boro hexagonal (H-BN) Se comporta de manera similar al grafito mecánicamente pero ofrece una excelente resistencia eléctrica..

Descripción de productos

Calentador compuesto compuesto PBN/PG:

Alta pureza y alto rendimiento cerámicas pirolíticas de nitruro de boro Se utilizan como sustrato para los calentadores PBN.. Grafito pirolítico (PG) Se coloca sobre la superficie de placas PBN mediante el método CVD como conductor y calentador.. Dependiendo de los diferentes requisitos de las aplicaciones., el elemento calefactor PG podría quedar cubierto nuevamente por PBN o simplemente permanecer abierto.

Como tanto PG como PBN son extremadamente puros (99.99% o incluso más alto) y muy estable en vacío o atmósfera inerte, El elemento calefactor PBN-PG podría ser muy duradero y mantener limpia la cámara.. Podría calentarse a ultra alto. 1600 ℃ en muy poco tiempo sin emisión de ningún componente gaseoso. Estos elementos calefactores son productos ideales para la industria de semiconductores y aplicaciones que requieren altas temperaturas., alto vacío, y alta pureza.
Diseñamos y desarrollamos calentadores cerámicos compuestos para evaporación OLED y CIGS., para eliminar desventajas como la evaporación de impurezas. cortocircuito. fragilización por hidrógeno. Mantenimiento complejo del filamento calefactor de tantalio..
Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG
Propiedades materiales
Bola de rodamiento de cerámica de circonio
Valor
Bola de rodamiento de cerámica de circonio
constante de red
a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
µm
densidad
2.0-2.19
g/cm3
resistividad
3.11×1011
Vaya·cm
resistencia a la tracción (ab)
153.86
N/mm2
resistencia a la flexión
C
243.63
N/mm2
ab
197.76
N/mm2
módulo elástico
uno
235690
N/mm2
conductividad térmica
uno
dirección “a” dirección “c”
uno
(200℃)
60 2.60
W/m·k
(900℃)
43.70 2.80
W/m·k
rigidez dieléctrica (a temperatura ambiente)
56
KV / mm
Características
√Sin hidrógeno
√Estructura integrada、 mantenimiento conveniente
√El conductor está cubierto por PBN, eliminar el cortocircuito
√Fácil limpieza
√Calefacción uniforme y estable.
√Excelente resistencia a la corrosión a altas temperaturas.
√Soporta calentamiento y enfriamiento rápidos y repetidos., 200°C/min
√Mantiene su forma original bajo fuerza externa.

Calentador compuesto vertical de nitruro de boro pirolítico PBN PG

Solicitud
Calentadores MBE; MOCVD、 Calentadores PECVD.

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