Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice

Isolateur d'alumine en céramique métallisée pour le brasage
Substrat d'engrenage en céramique d'alumine
Bras de chargeur de plaquettes en céramique semi-conducteur d'alumine (1)_1
Bras de chargeur de plaquettes en céramique semi-conducteur d'alumine (2)_1
Bras de chargeur de plaquettes en céramique semi-conducteur d'alumine (1)_1
Bras de chargeur de plaquettes en céramique semi-conducteur d'alumine (2)_1

Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice

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Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice

1.Composition du produit: 99% céramique d'alumine

2. Taille: custom size

3. Tolérance : ±0.05mm

4. Tube: Tube, GV, CTI

Nom du produit
Semiconductor Ceramics Alumina Ceramic Arm Robot for Wafer Handling
Matériel
alumin aceramic
Couleur
blanche
Tolérance
±0.001 mm
Noter
Première année
MOQ
1 pièces
Finition de surface
Regular or Polished
Composition
99% céramique d'alumine

 

The main features of the Semiconductor Ceramics Robot à bras en céramique d'alumine
1. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces, il est plus facile d'obtenir une relation d'ajustement parfaite
2. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces: Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
3. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces & Usinage-Alumine-Céramique-Pièces: Tube en céramique d'alumine pour capteurs automobiles
4. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces, Tube en céramique d'alumine pour capteurs automobiles, Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
5. Isolation électrique: Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
6. Excellentes propriétés mécaniques, dureté, la résistance à la compression et à la flexion est beaucoup plus élevée en acier inoxydable
7. Résistance à la corrosion chimique sous haute température, Usinage-Alumine-Céramique-Pièces
8. Tube en céramique d'alumine pour capteurs automobiles.
9. Usinage-Alumine-Céramique-Pièces

La spécification des pièces en céramique

Choix matérielAlumine(Al2O3), Zircone (ZrO2), Carbure de silicium(SiO2), Nitrure de silicium(Si3N4)
Méthodes de formageISO pressé, Pressé à sec, Moulage par injection de céramique, Pressé à chaud
spécificationOD peut être de 1 à 50mm, la longueur peut être de 10 mm à 800 mm
Traitement de précisionUsinage CNC, Meulage de précision, Polissage, Clapotis,
ToléranceLa tolérance de l'OD et de l'ID peut être de 0,001 mm, la tolérance de longueur peut être de 0,001 mm
Paramètres clésLa rugosité doit être de 0,02 mm, Usinage-Alumine-Céramique-Pièces, Le parallélisme doit être de 0,001 mm
Qualité de surfaceSans fissures, contamination étrangère, surface du miroir meilleure que Ra0.1

Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice

La description du bras de chargeur de plaquettes en céramique d'alumine de haute précision
Pour les dispositifs semi-conducteurs, le processus critique, ainsi que les pièces qui doivent être utilisées sous vide, haute température, et environnement gazeux corrosif, nécessitent également un environnement propre et sans poussière. Cependant, un matériau céramique de précision pourrait maintenir une stabilité élevée dans un environnement physique et chimique compliqué. Pièce en céramique semi-conductrice que nous avons produite avec une résistance à l'usure, résistance à la corrosion, faible dilatation thermique, l'isolation est faite de 99.8% céramique d'alumine et formée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température, et usinage de précision, c'est pourquoi peut répondre aux exigences strictes des pièces pour les équipements semi-conducteurs.

Robot à bras en céramique d'alumine en céramique semi-conductrice

Remarque:

Nous avons la capacité avec une variété de géométries compliquées de pièces en céramique de haute précision via l'usinage CNC, meulage de précision, perçage de précision, etc.

Fiche technique des Céramiques techniques

PropriétéUnitésMatériel
99.5%
alumine		99%
alumine		95%
alumine		ZrO2
(Y-TZP)		ZrO2
(TTZ)
Densitég/cm3≥3.85≥3.80≥3.60≥5.95≥5.72
Absorption de l'eau%00000
DuretéHT1700170015001300900
Résistance à la flexionMPa≥379≥338320≥1200≥1200
Résistance à la compressionMPa≥2240≥2240200019901750
Ténacité à la ruptureMpa m1/24-54-53-46.5-811
Max. un service
Température		°C1675160014501000
Côte1×10 -6 /°C6.5~8.06.2~8.05.0~8.08.0~9.510.2
Choc thermiqueT(°C)250200≥220300350
Conductivité thermique(25°C)W/m.k30292433
Résistivité volumiqueohm.cm
25°C>1 X 10 14>1 X 10 14>1 X 10 14>1 X 10 11>1 X 10 11
300°C1 X 10 128 X 10 1110 12 -10 131 X 10 101 X 10 10
500°C5 X 10 102 X 10 91 X 10 91 X 10 61 X 10 6
Force d'isolationkilovolts/mm1918181720
Constante diélectrique(1Mhz)(E)9.79.59.52928

 

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