Processus semi-conducteurs – Gravure
Processus semi-conducteurs – Gravure 1, classification du processus de gravure: Il existe deux principaux types de processus de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs: gravure sèche et gravure humide. La gravure sèche est divisée en trois: gravure au plasma, gravure par pulvérisation ionique et gravure ionique réactive (RIE). Bien sûr, la gravure peut également être divisée en gravure graphique et gravure graphique. Gravure à motifs utilisant une résine photosensible ou d'autres matériaux comme masque, seule la partie nue de la gravure s'enlève, alors qu'aucune gravure à motifs n'est effectuée dans le [...]