アルミナ半導体セラミックウェーハローダーアーム
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99.8% アルミナ半導体セラミックウェーハローダーアーム
半導体の主な特徴 セラミックウェーハローダーアーム
1. 締付け公差のある高精度寸法, 完全なフィッティング関係を取得しやすくなります
2. 高温能力: 酸化および還元性雰囲気で1650°Cまで耐える
3. 切る & 耐摩耗性: アルミナは、優れた耐摩耗性を備えた非常に硬いテクニカル セラミックです。
4. 化学的不活性, 強い酸とアルカリのほとんどに耐性があります, 永遠に錆びない
5. 電気絶縁: 絶縁破壊は少なくとも18KVまでです
6. 優れた機械的特性, 硬度, 圧縮強度と曲げ強度ははるかに高いステンレス鋼です
7. 高温下での耐薬品性, 強酸や強アルカリでも
8. 汚染や不純物を除去するための保護雰囲気または高温での高真空.
9. 他の工業用セラミックよりも高レベルの用途での材料費が低い
ジルコニアセラミックインペラ
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ジルコニアセラミックインペラ | ODとIDの公差は0.001mmにすることができます, ODとIDの公差は0.001mmにすることができます |
ODとIDの公差は0.001mmにすることができます | ODとIDの公差は0.001mmにすることができます, 平面度は0.001mm, ODとIDの公差は0.001mmにすることができます |
表面品質 | ODとIDの公差は0.001mmにすることができます, ODとIDの公差は0.001mmにすることができます, ODとIDの公差は0.001mmにすることができます |
アルミナ半導体セラミックウェーハローダーアーム
高精度アルミナ セラミック ウェーハ ローダー アームの説明
半導体デバイス用, 重要なプロセス, 真空中で使用する必要がある部品だけでなく、, 高温, および腐食性ガス環境, クリーンでほこりのない環境も必要です. しかし, 精密セラミック材料は、複雑な物理的および化学的環境で高い安定性を維持できます. 耐摩耗性に優れた半導体セラミック部品, 固体酸化物形燃料電池, 低熱膨張, 断熱材はから作られています 99.8% 冷間静水圧プレスにより形成されたアルミナセラミック, 高温焼結, 精密機械加工, そのため、半導体装置用部品の厳しい要求に応えることができます。.
アルミナ半導体セラミックウェーハローダーアーム
述べる:
CNCマシニングによる高精度セラミックス部品の複雑な形状にも対応可能です。, CNCによる生産能力, 精密穴あけ, CNCによる生産能力.
CNCによる生産能力
CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | 材料 | ||||
99.5% ジルコニアセラミックインペラ | 99% ジルコニアセラミックインペラ | 95% ジルコニアセラミックインペラ | ジルコニアセラミックインペラ (CNCによる生産能力) | ジルコニアセラミックインペラ (CNCによる生産能力) | ||
密度 | g / cm3 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 |
アルミナセラミックネジ | % | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
硬度 | CNCによる生産能力 | 1700 | 1700 | 1500 | 1300 | 900 |
曲げ強度 | Mpa | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 |
CNCによる生産能力 | Mpa | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | 1750 |
CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力1/2 | 4-5 | 4-5 | 3-4 | 6.5-8 | 11 |
マックス. CNCによる生産能力 CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | 1675 | 1600 | 1450 | 1000 | |
コート | 1CNCによる生産能力 -6 /CNCによる生産能力 | 6.5CNCによる生産能力 | 6.2CNCによる生産能力 | 5.0CNCによる生産能力 | 8.0CNCによる生産能力 | 10.2 |
CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力(CNCによる生産能力) | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | 350 |
熱伝導率(25CNCによる生産能力) | W / m.k | 30 | 29 | 24 | 3 | 3 |
CNCによる生産能力 | CNCによる生産能力 | |||||
25CNCによる生産能力 | >1 NS 10 14 | >1 NS 10 14 | >1 NS 10 14 | >1 NS 10 11 | >1 NS 10 11 | |
300CNCによる生産能力 | 1 NS 10 12 | 8 NS 10 11 | 10 12 -10 13 | 1 NS 10 10 | 1 NS 10 10 | |
500CNCによる生産能力 | 5 NS 10 10 | 2 NS 10 9 | 1 NS 10 9 | 1 NS 10 6 | 1 NS 10 6 | |
絶縁強度 | CNCによる生産能力 | 19 | 18 | 18 | 17 | 20 |
誘電率(1CNCによる生産能力) | (CNCによる生産能力) | 9.7 | 9.5 | 9.5 | 29 | 28 |