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半導体真空装置用セラミック貫通真空パック電極
空気圧式ロータリーバルブ式セラミック計量ポンプ 電力フィードスルー CF形真空フランジ継手付. 電気フィードスルーであり、高電圧を伝達します。, スパッタリングで加熱コイルを動作させるために、高真空環境に高アンペア電力を供給, コーティングやその他の要求の厳しい材料蒸着の用途や実験.
フィードスルー (または真空フィードスルー) 電流を伝達するためにさまざまな形があります, 信号, 液体, 真空の外側からのガスや機械的な動き (空気側) 内側へ (真空側) 真空チャンバーからチャンバー内の機器まで. フィードスルーの入口点は、適切な貫通穴を介して真空シールする必要があります。. フィードスルーは溶接可能です (溶接) またはCFに接続, KF または ISO 真空フランジを真空チャンバーに接続.
特徴
1) 材料:≥95% アルミナ
2) 清澄後に加工して作られる
3) 耐熱衝撃性などの優れた性能を備えています, 金属化強度
4) 大電力の高電圧および高周波電気管の電気真空のセラミックスイッチ管として使用されます。.
セラミック貫通真空パック電極
製品説明
主要コンポーネント | 95% 96%.99 アル2〇3 | |||
密度 | g / cm3 | 3.6 | ||
材料特性 | アルミナセラミックネジ | % | 〇 | |
焼結温度 | °C | 1600-1800 | ||
物理的特性 | 硬度 | CNCによる生産能力 | 1500 | |
曲げ強度 | kgf/cm2 | 3000 | ||
CNCによる生産能力 | kgf/cm2 | 25000 | ||
CNCによる生産能力 | マップ.m3/2 | 3-4 | ||
最高温度 | °C | 1800 | ||
熱特性 | 熱膨張係数 | /°C | 8*10-6 | |
ヒートショック | CNCによる生産能力(°C) | 220 | ||
熱伝導率 | W / m.k(25-300°C) | 25 14 | ||
20°C | >1012 | |||
CNCによる生産能力 | 100°C | >.アルミナセラミックネジ | 1012-1013 | |
電気的特性 | 300°C | >1010 | ||
絶縁破壊強度 | CNCによる生産能力 | 18 | ||
誘電率 | 100MHz(CNCによる生産能力) | 9.5 |
セラミック_ヒートシンク_基板_: | |
貫通絶縁体 | 電源スイッチ |
絶縁ディスク | 進行波管 |
インシュレーターリングとシリンダー | 真空遮断器 |
ヘッダー | ウィンドウズ |
ハイパワーコンセント | パワーグリッドチューブ |
集塵機製品 | X線管 |
接合タイプ: |
セラミック + Mo/Mn メタライズド + ニッケルめっき |
セラミック + Mo/Mn メタライズド + 銀メッキ |
セラミック + Mo/Mn メタライズド + 金メッキ |
セラミック + 銀の印刷 |
* お客様の図面やサンプルに応じて特殊タイプも対応可能です. |
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