PBN PG複合加熱電子素子
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PBN/PG複合加熱電子素子
製品説明
PBN PG複合加熱電子素子:
熱分解窒化ホウ素は、PBN 発熱体の基板として使用されます。. 熱分解黒鉛(PG) PBN板の表面にCVD法により導体およびヒーターとして配置. アプリケーションのさまざまな要件に応じて, PG 発熱体は再び PBN で覆われるか、開いたままになる可能性があります。.
直径 | 0.5「～4」 |
力 | 150～3000W |
マックス. 作業温度. | 2400 ℃ |
PBN PG複合加熱電子素子
PGもPBNも非常に純度が高いため、 (99.99% あるいはそれ以上の) 真空または不活性雰囲気中で非常に安定, PBN/PG コンポジット 発熱体 非常に耐久性があり、チャンバーを清潔に保つことができます. ガス成分を一切放出することなく、極めて短時間で1600℃まで加熱することができました。. 酸やアルカリにも強いので、. これらの発熱体は、半導体産業や高温を必要とする用途に最適な製品です。, 高真空, そして高純度.
材料特性
アイテム | 単位 | ||
見掛け密度 | g / cm3 | 2.15-2.19 | |
固体酸化物形燃料電池(彼) | cm3/秒 | <1*10-10 | |
微小硬度(ボタン) | N/mm2 | 691.88(a-b 平面) | |
抗張力 | N/mm2 | 153.86(平行) | |
曲げ強度 | N/mm2 | 243.63(平行) | 197.76(平行) |
弾性率 | N/mm2 | 235690 | |
比熱容量 | Cal/g.℃ | 0.371(@200℃) | 0.442(@900℃) |
熱伝導率200℃ | W/cm.k | 0.6(平行) | 0.026(垂直) |
熱伝導率900℃ | W/cm.k | 0.4370(平行) | 0.028(垂直) |
絶縁耐力(RT) | CNCによる生産能力 | 56 | |
高電圧アルミナ金属化セラミック絶縁体 | Cm | 3.11*1011 | |
特徴
√高純度(>99.999%)PBN |
√均一な加熱, 温度差±3度 1000 程度 |
√温度は高速で1700℃まで上昇できます。(非活性状態および真空状態) |
√温度は高速で1700℃まで上昇できます。(非活性状態および真空状態) |
√複雑な形状も製作可能 |
応用
MBEヒーター; MOCVD、 PECVDヒーター.
