熱分解窒化ホウ素 PBN PG 縦型複合ヒーター
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熱分解窒化ホウ素 PBN/PG 縦型複合ヒーター
窒化ホウ素, BNとしても知られています, 六方晶窒化ホウ素 (H-BN), およびホットプレス窒化ホウ素, 高温に耐え、高真空環境でも潤滑能力を維持できる優れた自己潤滑性セラミックです。. 六方晶窒化ホウ素 (H-BN) 機械的にはグラファイトと同様に動作しますが、優れた電気抵抗を示します。.
製品説明
PBN/PG複合複合ヒーター:
高純度で高性能 熱分解窒化ホウ素セラミックス PBNヒーターの基板として使用されます。. 熱分解黒鉛 (PG) PBN板の表面にCVD法により導体およびヒーターとして配置. アプリケーションのさまざまな要件に応じて, PG 発熱体は再び PBN で覆われるか、開いたままになる可能性があります。.
PGもPBNも非常に純度が高いため、 (99.99% あるいはそれ以上の) 真空または不活性雰囲気中で非常に安定, PBN-PG 発熱体は非常に耐久性があり、チャンバーを清潔に保ちます。. 超高温まで加熱される可能性があります 1600 ガス成分を一切放出することなく、極めて短時間で℃まで昇温します。. これらの発熱体は、半導体産業や高温を必要とする用途に最適な製品です。, 高真空, そして高純度.
OLEDおよびCIGS蒸着用の複合セラミックヒーターを設計および開発しました, 不純物の蒸発などのデメリットを解消するため. 短絡. 水素脆化. タンタル加熱フィラメントの複雑なメンテナンス.
熱分解窒化ホウ素 PBN PG 縦型複合ヒーター
材料特性
アイテム | 価値 | 単位 | |
格子定数 | a:2.504×10-10c:6.692×10-10 | んん | |
密度 | 2.0-2.19 | g / cm3 | |
抵抗率 | 3.11×1011 | Ω·アルミナセラミックネジ | |
引張強さ（ab） | 153.86 | N/mm2 | |
曲げ強度 | c | 243.63 | N/mm2 |
腹筋 | 197.76 | N/mm2 | |
弾性率 | 1つ | 235690 | N/mm2 |
熱伝導率 | 1つ | 「a」方向 「c」方向 | 1つ |
(200℃) | 60 2.60 | W/分·k | |
(900℃) | 43.70 2.80 | W/分·k | |
絶縁耐力（室温） | 56 | CNCによる生産能力 | |
特徴
√水素不使用 |
√一体構造、 便利なメンテナンス |
√導体はPBNで覆われています, 短絡をなくす |
√お手入れ簡単 |
√均一で安定した加熱 |
√高温での優れた耐食性 |
√繰り返しの急速加熱と冷却に耐えます。, 200℃/分 |
√外力を受けても元の形状を維持 |
熱分解窒化ホウ素 PBN PG 縦型複合ヒーター
応用
MBEヒーター; MOCVD、 PECVDヒーター.
