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반도체 진공 장비용 세라믹 피드스루 진공 팩 전극
그만큼 전원 피드스루 CF 유형 진공 플랜지 피팅 포함. 전기 피드스루이며 고전압을 전달합니다., 스퍼터링에서 가열 코일을 작동하기 위해 고진공 환경에 고전류 전력을 공급합니다., 코팅 및 기타 까다로운 재료 증발 응용 분야 또는 실험.
피드스루 (또는 진공 피드스루) 전류를 전달하기 위해 다양한 형태로 나타남, 신호, 체액, 진공 외부로부터의 가스 또는 기계적 움직임 (에어사이드) 안쪽으로 (진공 측) 진공 챔버에서 챔버 내부 장비까지. 피드스루의 진입점은 적합한 관통 구멍을 통해 진공 밀봉되어야 합니다.. 피드스루는 용접 가능 (용접된) 또는 CF와 연결되어 있음, 진공 챔버에 대한 KF 또는 ISO 진공 플랜지.
특징
1) 재료:≥95% 알루미나
2) 청징 후 가공하여 제작
3) 열충격 저항과 같은 좋은 성능으로, 금속화된 강도
4) 큰 전력을 가진 고전압 및 고주파 전기 튜브에서 전기 진공의 세라믹 스위치 튜브로 사용됩니다..
세라믹 피드스루 진공 팩 전극
제품 설명
주요 구성품 | 95% 96%.99 알2그만큼3 | |||
밀도 | g/cm3 | 3.6 | ||
재료 특성 | 수분 흡수 | % | 그만큼 | |
소결온도 | °C | 1600-1800 | ||
물리적 특성 | 경도 | HV | 1500 | |
굴곡 강도 | Kgf/cm2 | 3000 | ||
압축 강도 | Kgf/cm2 | 25000 | ||
파괴 인성 | 맵엠3/2 | 3-4 | ||
최대 온도 | °C | 1800 | ||
열적 특성 | 열팽창 계수 | /°C | 8*10-6 | |
열충격 | NS(°C) | 220 | ||
열 전도성 | W/m.k(25-300°C) | 25 14 | ||
20°C | >1012 | |||
체적 저항 | 100°C | >.센티미터 | 1012-1013 | |
전기적 특성 | 300°C | >1010 | ||
절연 파괴 강도 | KV/mm | 18 | ||
유전 상수 | 100MHz(이자형) | 9.5 |
애플리케이션: | |
피드스루 절연체 | 전원 스위치 |
절연 디스크 | 여행용 웨이브 튜브 |
절연체 링 및 실린더 | 진공 차단기 |
헤더 | 윈도우 |
고전력 콘센트 | 전력망 튜브 |
집진기 제품 | X선관 |
결합 유형: |
세라믹 + Mo/Mn 금속화 + Ni 도금 |
세라믹 + Mo/Mn 금속화 + Ag 도금 |
세라믹 + Mo/Mn 금속화 + Au 도금 |
세라믹 + Ag 인쇄 |
* 고객의 도면이나 샘플에 따라 특수 유형을 사용할 수 있습니다.. |
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