PBN PG 복합 발열 전자 소자
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PBN/PG 복합 발열 전자소자
제품 설명
PBN PG 복합 발열 전자 소자:
PBN 발열체의 기판으로 열분해 질화붕소를 사용합니다.. 열분해 흑연(PG) CVD 공법으로 PBN 플레이트 표면에 도체 및 히터로 배치. 다양한 애플리케이션 요구 사항에 따라, PG 가열 요소는 PBN으로 다시 덮거나 그냥 열어 둘 수 있습니다..
지름 | 0.5"~4" |
힘 | 150~3000W |
최대. 근무온도. | 2400 ℃ |
PBN PG 복합 발열 전자 소자
PG와 PBN은 모두 매우 순수하므로 (99.99% 아니면 그보다 더 높거나) 진공이나 불활성 분위기에서 매우 안정적입니다., PBN/PG 복합 발열체 내구성이 매우 뛰어나고 챔버를 깨끗하게 유지할 수 있습니다.. 가스 성분의 방출 없이 매우 짧은 시간에 1600℃까지 가열될 수 있습니다.. 또한 산과 알칼리에 대한 저항력도 좋습니다.. 이 발열체는 고온이 요구되는 반도체 산업 및 응용 분야에 이상적인 제품입니다., 고진공, 순도가 높고.
재료 특성
안건 | 단위 | ||
겉보기 밀도 | g/cm3 | 2.15-2.19 | |
가스 투과성(그) | cm3/초 | <1*10-10 | |
마이크로 경도(단추) | N/mm2 | 691.88(a-b 평면) | |
세라믹의 특성 | N/mm2 | 153.86(평행한) | |
굽힘 강도 | N/mm2 | 243.63(평행한) | 197.76(평행한) |
탄성 계수 | N/mm2 | 235690 | |
비열 용량 | 칼로리/g.℃ | 0.371(@200℃) | 0.442(@900℃) |
열전도율 200℃ | W/cm.k | 0.6(평행한) | 0.026(수직) |
열전도율 900℃ | W/cm.k | 0.4370(평행한) | 0.028(수직) |
유전 강도(RT) | KV/mm | 56 | |
체적 저항 | 센티미터 | 3.11*1011 | |
형질
√고순도(>99.999%)PBN |
√균일한 가열, ±3도 사이의 온도 차이 1000 도 |
√온도는 고속으로 1700℃까지 상승할 수 있습니다.(비활성 상태 및 진공 상태) |
√온도는 고속으로 1700℃까지 상승할 수 있습니다.(비활성 상태 및 진공 상태) |
√복잡한 형태로도 제작 가능 |
애플리케이션
MBE 히터; MOCVD、 PECVD 히터.
