열분해 질화붕소 PBN PG 수직복합히터
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열분해 질화붕소 PBN/PG 수직복합히터
질화붕소, BN이라고도 함, 육각형 질화붕소 (H-BN), 및 핫프레스 질화붕소, 고온에 견딜 수 있고 고진공 환경에서도 윤활 성능을 유지할 수 있는 우수한 자기 윤활 세라믹입니다.. 육방정질화붕소 (H-BN) 기계적으로는 흑연과 유사하게 거동하지만 우수한 전기 저항을 제공합니다..
제품 설명
PBN/PG 복합복합히터:
고순도 및 고성능 열분해 질화붕소 세라믹 PBN 히터의 기판으로 사용됩니다.. 열분해 흑연 (PG) CVD 공법으로 PBN 플레이트 표면에 도체 및 히터로 배치. 다양한 애플리케이션 요구 사항에 따라, PG 가열 요소는 PBN으로 다시 덮거나 그냥 열어 둘 수 있습니다..
PG와 PBN은 모두 매우 순수하므로 (99.99% 아니면 그보다 더 높거나) 진공이나 불활성 분위기에서 매우 안정적입니다., PBN-PG 발열체는 내구성이 뛰어나고 챔버를 깨끗하게 유지할 수 있습니다.. 매우 높은 온도까지 가열될 수 있습니다. 1600 어떠한 가스 성분도 배출하지 않고 매우 짧은 시간에 ℃. 이 발열체는 고온이 요구되는 반도체 산업 및 응용 분야에 이상적인 제품입니다., 고진공, 순도가 높고.
OLED 및 CIGS 증착용 복합 세라믹 히터를 설계 및 개발하였습니다., 불순물 증발 등의 단점을 없애기 위해. 단락. 수소 취성. 탄탈륨 가열 필라멘트의 복잡한 유지 관리.
열분해 질화붕소 PBN PG 수직복합히터
재료 특성
안건 | 값 | 단위 | |
격자 상수 | 산소 센서_1용 NTK 지르코니아 칩 가열판:2.504×10-10c:6.692×10-10 | μm | |
밀도 | 2.0-2.19 | g/cm3 | |
저항률 | 3.11×1011 | Ω·센티미터 | |
인장강도(ab) | 153.86 | N/mm2 | |
굽힘 강도 | 산소 센서_1용 NTK 지르코니아 칩 가열판 | 243.63 | N/mm2 |
ab | 197.76 | N/mm2 | |
탄성 계수 | 하나 | 235690 | N/mm2 |
열 전도성 | 하나 | "a"방향 "c"방향 | 하나 |
(200℃) | 60 2.60 | W/m·세라믹의 특성 | |
(900℃) | 43.70 2.80 | W/m·세라믹의 특성 | |
절연 내력 (상온에서) | 56 | KV/mm | |
형질
√수소 없음 |
√통합 구조、 편리한 유지보수 |
√도체는 PBN으로 덮여 있습니다., 단락을 제거하다 |
√쉬운 청소 |
√균일하고 안정적인 가열 |
√고온에서 우수한 내식성 |
√반복적인 급속 가열과 냉각에 견딜 수 있음, 200℃/분 |
√외력에도 원래의 모양이 유지됨 |
열분해 질화붕소 PBN PG 수직복합히터
애플리케이션
MBE 히터; MOCVD、 PECVD 히터.
