Композитные нагревательные электронные элементы PBN PG
- Описание
- Расследование
Композитные нагревательные электронные элементы PBN/PG
Описание продуктов
Композитные нагревательные электронные элементы PBN PG:
В качестве подложки для нагревательного элемента PBN используется пиролитический нитрид бора.. Пиролитический графит(PG) наносится на поверхность пластин ПБН методом CVD в качестве проводника и нагревателя. В зависимости от различных требований приложений, нагревательный элемент PG можно снова закрыть PBN или просто оставить открытым.
Диаметр | 0.5«~4» |
Сила | 150~3000 Вт |
Максимум. Рабочая температура. | 2400 ℃ |
Композитные нагревательные электронные элементы PBN PG
Поскольку и PG, и PBN чрезвычайно чисты. (99.99% или даже выше) и очень стабилен в вакууме или инертной атмосфере, композит PBN/PG Нагревательные элементы может быть очень прочным и содержать камеру в чистоте. Его можно нагреть до 1600 ℃ за очень короткое время без выделения каких-либо газовых компонентов.. Он также обладает хорошей устойчивостью к кислотам и щелочам.. Эти нагревательные элементы являются идеальными продуктами для полупроводниковой промышленности и приложений, требующих высоких температур., высокий вакуум, и высокая чистота.
Свойства материала
Пункт | Единица измерения | ||
Кажущаяся плотность | г / см3 | 2.15-2.19 | |
Газопроницаемость(Он) | см3/с | <1*10-10 | |
Микротвердость(Кнопка) | Н/мм2 | 691.88(плоскость а-б) | |
Предел прочности | Н/мм2 | 153.86(параллельный) | |
Прочность на изгиб | Н/мм2 | 243.63(параллельный) | 197.76(параллельный) |
Модуль упругости | Н/мм2 | 235690 | |
Удельная теплоемкость | Кал/г.℃ | 0.371(при 200 ℃) | 0.442(@ 900 ℃) |
Теплопроводность 200 ℃ | Вт/см.к | 0.6(параллельный) | 0.026(перпендикуляр) |
Теплопроводность 900 ℃ | Вт/см.к | 0.4370(параллельный) | 0.028(перпендикуляр) |
Диэлектрическая прочность(РТ) | КВ / мм | 56 | |
Объемное сопротивление | См | 3.11*1011 |
Характеристики
√Высокая чистота(>99.999%)ПБН |
√Равномерный нагрев, разница температур между ±3 градусами при 1000 степень |
√Температура может подняться до 1700℃ на высокой скорости.(в неактивном состоянии и вакууме) |
√Температура может подняться до 1700℃ на высокой скорости.(в неактивном состоянии и вакууме) |
√Можно придать сложную форму. |
заявка
Нагреватели MBE; МОКВД、 PECVD нагреватели.