Полупроводниковые процессы – Офорт
Полупроводниковые процессы – Офорт 1, классификация процесса травления: В производстве полупроводников существует два основных типа процессов травления.: сухое травление и влажное травление. Сухое травление делится на три: плазменное травление, ионно-лучевое травление и реактивное ионное травление (РИЭ). Конечно, травление также можно разделить на графическое травление и графическое травление.. Узорчатое травление с использованием фоторезиста или других материалов в качестве маски., удалена только голая часть травления, при этом травление рисунка не проводится в [...]