Các bộ phận điện tử sưởi ấm hỗn hợp PBN PG
- Sự miêu tả
- Cuộc điều tra
PBN/PG Composite Heating electronic Elements
Mô tả sản phẩm
Các bộ phận điện tử sưởi ấm hỗn hợp PBN PG:
Pyrolytic Boron Nitride is used as the substrate for the PBN heating element. Pyrolytic Graphite(PG) is placed on the surface of PBN plates by the CVD method as a conductor and heater. Depending on the different requirements of applications, the PG heating element could be covered by PBN again or just stay open.
Đường kính | 0.5”~4” |
Quyền lực | 150~3000W |
Max. Working Temp. | 2400 ℃ |
Các bộ phận điện tử sưởi ấm hỗn hợp PBN PG
As both PG and PBN are extremely pure (99.99% or even higher) and very stable in a vacuum or inert atmosphere, the PBN/PG Composite Heating Elements could be very durable and keep the chamber clean. It could be heated to 1600℃ in a very short time without the emission of any gas component. It also has good resistance to acid and alkali. These heating elements are ideal products for the semiconductor industry and applications that require high temperature, high vacuum, and high purity.
Thuộc tính vật liệu
Mục | Bài học | ||
Apparent Density | g / cm3 | 2.15-2.19 | |
Tính thấm khí(He) | cm3/s | <1*10-10 | |
Micro hardness(Knoop) | N/mm2 | 691.88(a-b plane) | |
Sức căng | N/mm2 | 153.86(parallel) | |
Lực bẻ cong | N/mm2 | 243.63(parallel) | 197.76(parallel) |
Modulus of elasticity | N/mm2 | 235690 | |
Specific heat capacity | Cal/g.℃ | 0.371(@ 200℃) | 0.442(@ 900℃) |
Thermal conductivity 200℃ | W/cm.k | 0.6(parallel) | 0.026(perpendicular) |
Thermal conductivity 900℃ | W/cm.k | 0.4370(parallel) | 0.028(perpendicular) |
Độ bền điện môi(RT) | Mỗi zirconia ổn định cung cấp các đặc tính riêng biệt và cụ thể đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng khắc nghiệt được tìm thấy trong nhiều ngành công nghiệp | 56 | |
Điện trở suất | Cm | 3.11*1011 |
Đặc điểm
√High purity(>99.999%)PBN |
√Uniform heating, the difference in temperature between ±3 degree at 1000 degree |
√The temperature can rise up to 1700℃ with high speed(in non-active condition and vacuum) |
√The temperature can rise up to 1700℃ with high speed(in non-active condition and vacuum) |
√Can be made to complicated shape |
Ứng dụng
MBE heaters; MOCVD、 PECVD heaters.