Lò sưởi hợp chất dọc boron nitride PBN PG
- Sự miêu tả
- Cuộc điều tra
Pyrolytic boron nitride PBN/PG Vertical compound heater
Boron Nitrat, còn được gọi là BN, boron nitrit lục giác (H-BN), và boron nitrit ép nóng, là loại gốm tự bôi trơn tốt, có thể chịu được nhiệt độ cao và duy trì khả năng bôi trơn trong môi trường chân không cao. Nitrua boron lục giác (H-BN) hoạt động tương tự như than chì về mặt cơ học nhưng có điện trở suất tuyệt vời.
Mô tả sản phẩm
PBN/PG Composite composite heater:
High-purity and high-performance pyrolytic boron nitride ceramics are used as the substrate for the PBN heaters. Pyrolytic graphite (PG) is placed on the surface of PBN plates by the CVD method as a conductor and heater. Depending on the different requirements of applications, the PG heating element could be covered by PBN again or just stay open.
As both PG and PBN are extremely pure (99.99% or even higher) and very stable in vacuum or inert atmosphere, the PBN-PG heating element could be very durable and keep the chamber clean. It could be heated to ultra high 1600 ℃ in a very short time without emission of any gas component. These heating elements are ideal products for the semiconductor industry and applications that requires high temperature, high vacuum, and high purity.
We designed and developed composite ceramic heaters for OLED and CIGS evaporation, to eliminate the disadvantages such as evaporation of impurities. short-circuit. hydrogen embrittlement. complex maintenance of Tantalum heating filament.
Lò sưởi hợp chất dọc boron nitride PBN PG
Thuộc tính vật liệu
Mục | Giá trị | Bài học | |
lattice constant | a:2.504×10-10 c:6.692×10-10 | μ m | |
density | 2.0-2.19 | g / cm3 | |
resistivity | 3.11×1011 | Ồ·cm | |
tensile strength(ab) | 153.86 | N/mm2 | |
bend strength | c | 243.63 | N/mm2 |
ab | 197.76 | N/mm2 | |
elastic modulus | 一 | 235690 | N/mm2 |
thermal conductivity | 一 | “a” direction “c” direction | 一 |
(200℃) | 60 2.60 | W/m·k | |
(900℃) | 43.70 2.80 | W/m·k | |
dielectric strength(at room temperature) | 56 | Mỗi zirconia ổn định cung cấp các đặc tính riêng biệt và cụ thể đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng khắc nghiệt được tìm thấy trong nhiều ngành công nghiệp |
Đặc điểm
√No hydrogen |
√Integrated structure、 convenient maintenance |
√The conductor is covered by PBN, eliminate short-circuit |
√Easy cleaning |
√Uniform and stable heating |
√Excellent corrosion resistance at high temperature |
√Withstands repeated rapid heating and cooling, 200°C/min |
√Keep its original shape under external force |
Lò sưởi hợp chất dọc boron nitride PBN PG
Ứng dụng
MBE heaters; MOCVD、 PECVD heaters.