Quy trình bán dẫn – khắc
Quy trình bán dẫn – khắc 1, phân loại quá trình khắc: Có hai loại quy trình khắc chính trong sản xuất chất bán dẫn: khắc khô và khắc ướt. Khắc khô được chia thành ba: khắc plasma, khắc phún xạ chùm ion và khắc ion phản ứng (RIE). Tất nhiên rồi, khắc cũng có thể được chia thành khắc đồ họa và khắc đồ họa. Khắc theo khuôn mẫu bằng cách sử dụng chất quang dẫn hoặc các vật liệu khác làm mặt nạ, chỉ là phần trần của vết khắc, trong khi không có việc khắc theo khuôn mẫu được thực hiện trong [...]