热解氮化硼PBN PG 立式复合加热器
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热解氮化硼PBN/PG立式复合加热器
氮化硼, 也称为 BN, 六方氮化硼 (六方氮化硼), 和热压氮化硼, 是一种良好的自润滑陶瓷，能耐高温，在高真空环境下仍能保持润滑能力. 六方氮化硼 (六方氮化硼) 机械性能与石墨相似，但具有出色的电阻.
产品描述
PBN/PG复合材料复合加热器:
高纯度、高性能 热解氮化硼陶瓷 用作 PBN 加热器的基材. 热解石墨 (PG) 通过CVD方法将其放置在PBN板的表面作为导体和加热器. 根据应用的不同要求, PG 加热元件可以再次被 PBN 覆盖或保持打开状态.
由于PG和PBN都非常纯净 (99.99% 甚至更高) 在真空或惰性气氛中非常稳定, PBN-PG 加热元件非常耐用并保持腔室清洁. 它可以被加热到超高 1600 ℃在很短的时间内不排放任何气体成分. 这些加热元件是半导体行业和需要高温的应用的理想产品, 高真空, 和高纯度.
我们设计和开发了用于 OLED 和 CIGS 蒸发的复合陶瓷加热器, 消除杂质蒸发等缺点. 短路. 氢脆. 钽加热丝的复杂维护.
热解氮化硼PBN PG 立式复合加热器
材料特性
物品 | 价值 | Si3N4陶瓷的典型应用 | |
晶格常数 | 一种:2.504×10-10℃:6.692×10-10 | 毫米 | |
密度 | 2.0-2.19 | 克/立方厘米 | |
电阻率 | 3.11×1011 | Ω·一种铜-氧共晶形式，可成功地与铜和用作基材的氧化物结合 | |
拉伸强度（ab） | 153.86 | 牛/平方毫米 | |
弯曲强度 | C | 243.63 | 牛/平方毫米 |
ab | 197.76 | 牛/平方毫米 | |
弹性模量 | 一 | 235690 | 牛/平方毫米 |
导热系数 | 一 | “a”方向 “c”方向 | 一 |
(200℃) | 60 2.60 | 瓦/米·ķ | |
(900℃) | 43.70 2.80 | 瓦/米·ķ | |
介电强度（室温） | 56 | 千伏/毫米 | |
特征
√无氢气 |
√一体化结构、 维护方便 |
√导体被PBN覆盖, 消除短路 |
√易于清洁 |
√加热均匀稳定 |
√优异的高温耐腐蚀性能 |
√可承受反复快速加热和冷却, 200℃/分钟 |
√在外力作用下仍保持原有形状 |
热解氮化硼PBN PG 立式复合加热器
应用
MBE 加热器; 有机化学气相沉积、 PECVD加热器.
